其它石油品
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产品产地比利时
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包装规格
六氟化硫(SF6)越来越多地用于制造半导体器件,例如IC(集成电路),平板,光伏板和MEMS(微机电系统)。 SF6在上述过程中用作蚀刻气体。由于密度和大分子尺寸,SF6是平板和MEMS生产过程中优选的蚀刻气体。六氟化硫(SF6)等氟化气体在硅器件的制造中起着非常重要的作用。在这个细分市场中,气体纯度至关重要,因为必须尽可能减少污染的可能性。为此,索尔维提供N5.0材料(纯度最低99.999%)
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CAS号
2551-62-4
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全Q事业部
特殊化学
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同义词
硫化物六氟环
化学类别 | 化学家族 | 化学产品 |
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氟化学品 | 六氟化硫 |
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