当前位置:首页 » 产品介绍 » 化学试剂助剂
金牌供应商 品质首选
上海凯茵化工有限公司
地址:上海市闵行区顾戴路2337号维璟中心D幢9层CDEF单元
网址:www.4006787252.com
400-678-7252

索尔维蚀刻气体SIFREN® 46

索尔维蚀刻气体SIFREN® 46

全国多仓发货,如需其他品牌或型号,请点击咨询客服

马上拨打电话400-678-7252咨询索尔维蚀刻气体SIFREN® 46相关信息

  • 产品产地比利时

  • 包装规格

Sifren®46(C4F6或六氟丁二烯)C4F6的GWP = 0,是关键应用中最先进的蚀刻气体。其低C / F比和不饱和度可实现蚀刻中最高的纵横比.Sifren®46(C4F6或Hexafluoro-1,3-butadiene)是一种具有交替双键的不饱和碳氟化合物。它是一种无色,无味,有毒,易燃的气体,在以氙(Xe)和氩(Ar)作为载体或稀释气体制造的半导体器件中,对等离子体,离子束或溅射蚀刻具有非常高的性能。由于大气寿命短(<1天),可忽略不计的 全Q变暖潜势,以及对平流层臭氧层的惰性,Sifren®46是环境友好型气体。

  • CAS编号

    685-63-2

  • 全Q事业部

    特殊化学

    [123 ]
  • 品牌

    SIFREN®46

  • 别名

    C4F6;六氟丁二烯

  • [123 ]氟衍生物氟化学品六氟丁二烯
    化学类别 化学家族 化学产品

【版权声明】秉承互联网开放、包容的精神,凯茵化工欢迎各方(自)媒体、机构转载、引用我们原创内容,但要注明来源凯茵化工;同时,我们倡导尊重与保护知识产权,如发现本站文章存在版权问题,请将版权疑问、授权证明、版权证明、联系方式等,发邮件至 app@shkingchem.com,我们将第一时间核实、处理,感谢您的配合。

最新文章

点击/扫码填问卷