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电子级三甲基铝的化工原料检测方法
电子级三甲基铝是化合物半导体沉积的铝源,广泛的应用于化合物半导体薄膜材料生产中,也可以用来生产激光二极管、晶体管、发光二极管和高TRITON X-100效率太阳能电池等电子产品中,以及用于硅半导体产业化学气相沉积过程中。今天凯茵化工原料检测中心就给大家介绍一下检测该种化工原料需要使用的方法以及其他注意事项等。
对三甲基铝的检测需要测定三项,纯度、痕量金属元素、氧和有机物。通过化工原料检测的方式,需要确定痕量金属元素的含量,包括钡、银、镁、锑、锡、锌、铍、钙、铜、锰、铁等。对于电子级的要求是其精确度达到99.99995%以上的级别。
关于纯度检测的方法主要是通过排除法来计算,比如排除硅元素、镁元素、铁元素等含量的百分比来确定最后产品的纯度。金属元素的检测方法可以使用电感耦合等离子体原子发射光谱法来进行测定。而有机物质和氧的含量测定则使用低温超导傅里叶变换核磁共振。
三甲基铝是一种带有强烈刺激气味的无色液体,与人体直接接触可对皮肤、上呼吸道产生强烈的刺激和腐蚀作用,它也是一种易燃液体,与空气接触就可以燃烧,遇水产生剧烈的爆炸反应,属于高危易燃易爆炸的危险化学品,在保存和运输该化学品时需要气相二氧化硅200用特殊的钢瓶罐体来包装。
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